新闻 - 三坐标测量机花岗岩底座及精密气浮平台

在先进制造领域，“微米”是常用单位，“纳米”则是新的前沿，测量和运动系统的结构完整性不容妥协。无论是什么坐标测量机（CMM）无论是检查航空航天涡轮叶片，还是在半导体制造厂中定位晶圆的精密运动平台，系统的性能从根本上都受到其基础材料的限制。

在中兴机械工业株式会社（ZHHIMG），我们数十年来致力于精进工业花岗岩的工艺与技术。如今，随着全球各行各业在不牺牲精度的前提下追求更高产量，花岗岩气浮轴承与高稳定性底座的集成已成为世界一流工程技术的关键要素。

A 坐标测量机（CMM）它旨在以极高的精度捕捉物体的物理几何形状。然而，机器传感器的精度仅取决于其所安装的框架的精度。

历史上，铸铁是首选材料。然而，随着计量技术从专业实验室走向生产车间，金属的局限性逐渐显现。花岗岩因以下几个关键原因而成为更优的替代品：

热惯性：花岗岩的热膨胀系数极低。与铝或钢等材料不同，后者在温度发生微小变化时就会显著膨胀和收缩，而花岗岩则能保持尺寸稳定性。这对于需要在长时间生产过程中保持校准的三坐标测量机（CMM）至关重要。
振动阻尼：花岗岩的天然矿物结构具有极佳的高频振动吸收能力。在工厂环境中，重型机械会不断产生地面震动，花岗岩底座可起到天然过滤器的作用，确保探头保持稳定。
耐腐蚀性：与金属部件不同，花岗岩不会生锈或氧化。它无需任何化学涂层，否则这些涂层可能会随着时间的推移而劣化并影响参考表面的平整度。

静态底座虽然能提供稳定性，但精密运动平台的运动部件则需要不同的特性：低摩擦、高重复性和平稳性。这正是……花岗岩气浮（也称为气浮轴承）表现出色。

传统机械轴承依靠滚动体（滚珠或滚柱）运动，这必然会在运动过程中产生摩擦、热量和“噪音”。相比之下，花岗岩气浮轴承利用一层薄薄的压缩空气膜（通常只有 5 到 10 微米厚）来支撑运动滑块。

零磨损：由于载物台与花岗岩导轨之间没有物理接触，因此不存在磨损。维护得当的载物台，即使使用十年后，仍能保持与全新时相同的纳米级精度。
自清洁效果：轴承不断排出的空气可防止灰尘和污染物沉积在精密研磨的花岗岩表面上，这在洁净室环境中至关重要。
无与伦比的直线度：采用精密研磨的花岗岩梁作为导轨，气浮轴承能够实现机械导轨无法企及的直线运动精度。气膜能够“平均化”任何微小的表面缺陷，从而带来极其流畅的运动轨迹。