花岗岩部件帮助XYZT精密龙门运动平台确保半导体制造精度。

在半导体制造车间，芯片制造工艺对环境条件和设备精度的要求极其苛刻，任何细微的偏差都可能导致芯片良率的大幅下降。XYZT精密龙门运动平台依靠花岗岩部件与平台其他部件的协同作用，为实现纳米级精度构建了坚实的基础。
优异的防震性能
在半导体制造车间，周边设备的运行和人员的走动都可能引起振动。花岗岩组件内部结构致密均匀，具有天然的高阻尼特性，如同一道高效的减振“屏障”。当外界振动传递到XYZT平台时，花岗岩组件可有效衰减80%以上的振动能量，降低振动对平台运动精度的干扰。同时，平台配备高精度气浮导向系统，与花岗岩组件协同工作。气浮导向利用高压气体形成的稳定气膜，实现平台运动部件的非接触式悬浮运动，并降低由机械摩擦引起的微小振动。二者共同确保在芯片光刻、刻蚀等关键工艺中，平台定位精度始终保持在纳米级，避免因振动导致芯片电路图案发生偏差。
优异的热稳定性
车间温湿度的波动对芯片制造设备的精度影响很大。花岗岩的热膨胀系数很低，一般在5-7×10⁻⁶/℃，温度变化时尺寸几乎不变。即使车间昼夜温差或设备产热导致环境温度波动，花岗岩构件也能保持稳定，防止平台因热胀冷缩而变形。同时，平台配备的智能温控系统实时监测环境温度，自动调节空调和散热设备，使车间温度保持在20℃±1℃。结合花岗岩热稳定性的优势，确保平台在长期运行中，各轴的运动精度始终满足芯片制造纳米级精度标准，确保芯片光刻图形尺寸精确、刻蚀深度均匀。
满足洁净环境的需求
半导体制造车间需要保持较高的洁净度，防止尘埃颗粒污染芯片。花岗岩材料本身不产尘，且表面光滑，不易吸附灰尘。平台整体采用全封闭或半封闭结构设计，减少外部灰尘的进入。内部空气循环系统与车间洁净空调系统联动，确保内部空气洁净度达到芯片制造所需的水平。在这种洁净环境下，花岗岩元器件不会因尘埃侵蚀而影响性能，平台的高精度传感器、电机等关键部件也能稳定运行，为芯片制造提供持续可靠的纳米级精度保障，助力半导体产业迈向更高的工艺水平。