单轴气浮超精密运动模块:花岗岩底座铸造,精度高。

在精密制造和科研前沿领域,超精密运动控制的需求日益增长。作为实现高精度直线运动的关键设备,超精密单轴气浮模组的性能优劣直接影响着最终产品的质量和科研成果的准确性。在众多影响因素中,花岗岩底座的应用使其拥有了无可比拟的优势,成为确保卓越精度的核心要素。
花岗岩经过亿万年的地质变迁,内部结构极其致密均匀,主要由石英、长石等矿物组成,这种独特的物质组成赋予了花岗岩优异的物理性能。花岗岩作为单轴气浮超精密运动模组的底座,首先展现出极高的稳定性。与常见的金属材料底座相比,花岗岩底座在面对温度波动、机械振动等外界环境扰动时,表现出更强的抗变形能力。在电子芯片制造过程中,芯片光刻的定位精度要求达到纳米级。在生产车间,大型设备运行产生的振动以及环境温度的细微变化都可能影响光刻设备的运动精度。采用花岗岩底座的单轴气浮超精密运动模组,可以有效衰减外界振动,将传递到运动模组的振动幅值降低80%以上。同时其极低的热膨胀系数使得底座尺寸在温度变化时变化很小,保证了气浮运动模组在复杂的环境下依然能保持稳定的运动精度,为芯片光刻提供了精准的定位基础,大大提高了芯片制造的良率。

zhhimg iso
此外,花岗岩具有良好的耐磨性。超精密单轴气浮模块在频繁往复运动过程中,虽然气浮滑块与底座之间有气膜支撑,但长期使用不可避免地会产生一定的摩擦。花岗岩底座凭借其高硬度的特性,可以有效抵抗这种摩擦带来的磨损,延长运动模块的使用寿命。在高校科研实验室中,用于微小颗粒检测的实验设备需要单轴气浮超精密运动模块长期稳定运行,才能获得大量精确的实验数据。花岗岩底座的高耐磨性保证了运动模块在长时间使用后精度仍能保持在初始的高精度水平,为科研工作的连续性和准确性提供了可靠的保障,助力科研人员深入探索微观世界的奥秘。
采用花岗岩底座的单轴气浮超精密运动模组,犹如精密制造和科研的精准“导航仪”。花岗岩底座以其优异的稳定性、耐磨性,为气浮运动模组的高精度运动提供了坚实的支撑,在半导体制造、光学仪器制造、高端科研等诸多精密要求的领域,发挥着不可替代的重要作用,推动着行业向更高精度、更高品质的方向发展。

精密花岗岩30


发布时间:2025年4月7日